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EVG设备

EVG500系列键合机:EVG501

主要应用于MEMS制造、微流体芯片、化合物半导体的薄片处理、晶圆级封装以及3D互联、TSV工艺等。 ...

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EVG100系列匀/喷胶及显影系统:EVG101

应用于MEMS制造、晶圆级封装、3D互联工艺以及LED和光伏发电等领域。 ...

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纳米压印设备之热压印:EVG510HE

EVG公司是一家致力于半导体制造设备的供应商,其丰富的产品系列包括:涂胶和喷胶/显影机/热板/冷板、掩模版光刻/键合对准系统、基片热压键合/低温等离子键合系统、基片清洗机、基片检测系统、SOI 基片键合系... ...

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EVG620系列单面/双面光刻机

EVG公司是一家致力于半导体制造设备的供应商,其丰富的产品系列包括:涂胶和喷胶/显影机/热板/冷板、掩模版光刻/键合对准系统、基片热压键合/低温等离子键合系统、基片清洗机、基片检测系统、SOI 基片键合系统、... ...

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